Methods and systems for spectral measurements based on perturbed spectra
WO2025085462
Art A1
24. April 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025085462
- Aktenzeichen
- EP24880472
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 24. April 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/84G01N23/083G01N23/225G01B11/02G01B15/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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