Apparatus and method to achieve low loss pvd sink with cmos beol compatible thermal budget

WO2025085749 Art A1 24. April 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025085749
Aktenzeichen: EP24880649
Anmeldetag: 18. Oktober 2024
Veröffentlichung: 24. April 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B6/122G02B5/08H10F39/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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