Plasma ion source device having digital energy level control function and controlled ionization method

WO2025086894 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: ZHEJIANG UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025086894
Aktenzeichen: EP24881261
Anmeldetag: 2. September 2024
Veröffentlichung: 1. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/10H01J49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ZHEJIANG UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Zhejiang University

Chinesische Universität mit Sitz in Hangzhou, eine der führenden Forschungshochschulen Chinas mit breitem Fächerspektrum einschließlich Ingenieurwissenschaften und Materialforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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