Compositions and methods for removal of tungsten and dielectric layers

WO2025088005 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025088005
Aktenzeichen: EP24794151
Anmeldetag: 24. Oktober 2024
Veröffentlichung: 1. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/321H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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