Evaporation source arrangement, vacuum deposition system, and method of coating a substrate

WO2025088370 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025088370
Aktenzeichen: EP23956713
Anmeldetag: 13. Dezember 2023
Veröffentlichung: 1. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/22C23C14/56C23C14/50C23C14/54C23C14/04C23C14/14C23C14/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von