Silicon wafer polishing method

WO2025088991 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025088991
Aktenzeichen
EP24882108
Anmeldetag
1. Oktober 2024
Veröffentlichung
1. Mai 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/005B24B37/015B24B49/14B24B49/16
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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