Stage device, substrate processing device, information processing device, information processing method, program, and article manufacturing method

WO2025089190 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025089190
Aktenzeichen: EP24882303
Anmeldetag: 18. Oktober 2024
Veröffentlichung: 1. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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