Predicting Tilt Parameters

WO2025090383 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025090383
Aktenzeichen: EP24883131
Anmeldetag: 18. Oktober 2024
Veröffentlichung: 1. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06F30/398G06F30/392G06F30/394H01L21/66G06T15/00G06F111/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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