Single Wafer Orientation Tool-Induced Shift Cleaning

WO2025090404 Art A1 1. Mai 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025090404
Aktenzeichen: EP24883145
Anmeldetag: 21. Oktober 2024
Veröffentlichung: 1. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/21G01J3/02G01J3/28G01B11/02G01B11/26G06N20/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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