Verfahren zur Temperierung von Mems-Mikrospiegeln

WO2025093416 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH, CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025093416
Aktenzeichen: EP24798439
Anmeldetag: 24. Oktober 2024
Veröffentlichung: 8. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G01K7/16G02B26/08H05B1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ROBERT BOSCH GMBH
CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

42.338 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.385 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von