Compensation For A Disturbance in A Light Source

WO2025093982 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025093982
Aktenzeichen: EP24801672
Anmeldetag: 17. Oktober 2024
Veröffentlichung: 8. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01S3/13F21V9/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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