Polishing device and polishing method for workpiece

WO2025094443 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025094443
Aktenzeichen
EP24885220
Anmeldetag
19. Juni 2024
Veröffentlichung
8. Mai 2025
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/005B24B7/17B24B37/08B24B49/14H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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