Coating unit and substrate bonding device equipped with same

WO2025094547 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025094547
Aktenzeichen: EP24885324
Anmeldetag: 26. September 2024
Veröffentlichung: 8. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/08B05C5/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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