Yield Improvements in Stacked Packaging

WO2025096369 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025096369
Aktenzeichen
EP24886676
Anmeldetag
29. Oktober 2024
Veröffentlichung
8. Mai 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/18H01L21/304H01L21/67H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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