Methods and apparatus for purifying substrate containers

WO2025097058 Art A1 8. Mai 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025097058
Aktenzeichen: EP24887053
Anmeldetag: 1. November 2024
Veröffentlichung: 8. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673H01L21/677B01D53/30B01D53/72B01D53/04B01D53/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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