X-ray inspection system for inspection of an object

WO2025098589 Art A1 15. Mai 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025098589
Aktenzeichen: EP23802184
Anmeldetag: 6. November 2023
Veröffentlichung: 15. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/04H01J29/50H01J35/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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