Neural network feedforward framework for compliance compensation

WO2025098693 Art A1 15. Mai 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025098693
Aktenzeichen: EP24786769
Anmeldetag: 7. Oktober 2024
Veröffentlichung: 15. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G05B13/02G05B19/19

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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🇳🇱 Technische Universiteit Eindhoven

Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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