Charged particle system and method of baking out a charged particle system

WO2025098867 Art A1 15. Mai 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025098867
Aktenzeichen: EP24798854
Anmeldetag: 31. Oktober 2024
Veröffentlichung: 15. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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