Laser ablation applications for electrostatic chucks

WO2025101286 Art A1 15. Mai 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025101286
Aktenzeichen: EP24889349
Anmeldetag: 27. September 2024
Veröffentlichung: 15. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B23Q3/154B23K37/04H01L21/683B23K26/354

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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