Stage motion profile system and method
WO2025101385
Art A1
15. Mai 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025101385
- Aktenzeichen
- EP24889377
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 15. Mai 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67H01L21/687H01L21/66B25J11/00B25J13/08B25J9/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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