Selective blocking of metal surfaces using n-heterocyclic carbenes as self-assembled monolayers

WO2025101839 Art A1 15. Mai 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025101839
Aktenzeichen
EP24889642
Anmeldetag
8. November 2024
Veröffentlichung
15. Mai 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/768H01L21/02H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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