Reticle pod with air flow management feature

WO2025101999 Art A1 15. Mai 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025101999
Aktenzeichen: EP24889740
Anmeldetag: 8. November 2024
Veröffentlichung: 15. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/66H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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