Lithographiesystem mit einer Kupplung zum Trennen von Leitungsabschnitten und Verfahren zur Dichtigkeitsprüfung

WO2025103628 Art A2 22. Mai 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025103628
Aktenzeichen: EP24761938
Anmeldetag: 26. August 2024
Veröffentlichung: 22. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B5/08G02B7/00F16L29/00F16L37/28F16L37/407

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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