Heizkopf, Heizvorrichtung und Optisches System, insbesondere Euv-Lithographiesystem

WO2025103695 Art A1 22. Mai 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025103695
Aktenzeichen: EP24791354
Anmeldetag: 16. Oktober 2024
Veröffentlichung: 22. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02G02B7/18G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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