Stage device, vacuum device, and charged particle beam device

WO2025105061 Art A1 22. Mai 2025

Anmelder: HITACHI, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025105061
Aktenzeichen: EP24891103
Anmeldetag: 30. September 2024
Veröffentlichung: 22. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G03F7/20H01J37/28H02K41/02H02K41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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