Patterning process assessment systems and methods

WO2025106702 Art A1 22. Mai 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., VAN ENGELEN, Jorn, Paul, JAHANI, Saman, VAN T WESTEINDE, Maaike, GOLDSTEIN, Michael, SAHIN, Ezgi, AKBULUT, Duygu, SETIJA, Irwan, Dani, DE LEON ARIZPE, Israel 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025106702
Aktenzeichen: EP24817795
Anmeldetag: 14. November 2024
Veröffentlichung: 22. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
VAN ENGELEN, Jorn, Paul
JAHANI, Saman
VAN T WESTEINDE, Maaike
GOLDSTEIN, Michael
SAHIN, Ezgi
AKBULUT, Duygu
SETIJA, Irwan, Dani
DE LEON ARIZPE, Israel
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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