Substrate bearing device and substrate processing apparatus

WO2025107891 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC., ACM RESEARCH (LINGANG), INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025107891
Aktenzeichen: EP24893050
Anmeldetag: 29. September 2024
Veröffentlichung: 30. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673H01L21/67B08B3/10B08B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ACM RESEARCH (SHANGHAI), INC.
ACM RESEARCH (LINGANG), INC.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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