Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Elements, Element, insbesondere Optisches Element, und Lithografiesystem

WO2025108984 Art A2 30. Mai 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025108984
Aktenzeichen: EP24812106
Anmeldetag: 20. November 2024
Veröffentlichung: 30. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/18B23H7/26B23H9/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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