Robotic system, measurement system, control method, and measurement method

WO2025109728 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025109728
Aktenzeichen
EP23959471
Anmeldetag
22. November 2023
Veröffentlichung
30. Mai 2025
Rechtsraum
WO
IPC
B25J13/08B25J15/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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