Charged particle beam transport device and charged particle beam neutralization method

WO2025109856 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: HITACHI, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025109856
Aktenzeichen: EP24893851
Anmeldetag: 20. September 2024
Veröffentlichung: 30. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G21K5/00H01J37/305H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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