Cooling device, substrate processing device, and method for manufacturing article

WO2025110117 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025110117
Aktenzeichen: EP24894108
Anmeldetag: 18. November 2024
Veröffentlichung: 30. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: F28D15/06F28D15/02G03F7/20H01L21/027H01L21/31H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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