Thin film formation method

WO2025110784 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025110784
Aktenzeichen
EP24894675
Anmeldetag
22. November 2024
Veröffentlichung
30. Mai 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02C23C16/34C23C16/455C23C16/509C23C16/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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