In-situ in-band and out-of-band spectral measurement for euv tools
WO2025111006
Art A1
30. Mai 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025111006
- Aktenzeichen
- EP23959631
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88G01N21/956G01N21/33G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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