Closed loop control system to monitor inside parameters of a substrate carrier

WO2025111089 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025111089
Aktenzeichen: EP24894861
Anmeldetag: 21. Oktober 2024
Veröffentlichung: 30. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673H01L21/677H01L21/67G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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