Methods for forming molybdenum surfaces with increased diffusion barrier

WO2025111176 Art A1 30. Mai 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025111176
Aktenzeichen: EP24894889
Anmeldetag: 13. November 2024
Veröffentlichung: 30. Mai 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/04C23C16/08C23C16/455C23C16/56C23C16/02H10B12/00H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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