Robotic Arm For Cleaning Structure Surface in Chamber

WO2025113880 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025113880
Aktenzeichen: EP24791356
Anmeldetag: 16. Oktober 2024
Veröffentlichung: 5. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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