Verfahren zum Herstellen einer Euv-Spiegelkomponente, Zwischenprodukt einer Euv-Spiegelkomponente

WO2025113968 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025113968
Aktenzeichen: EP24805482
Anmeldetag: 11. November 2024
Veröffentlichung: 5. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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