Information processing method, computer program, and information processing device

WO2025115751 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025115751
Aktenzeichen: EP24897437
Anmeldetag: 21. November 2024
Veröffentlichung: 5. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06F16/90G06F16/38G06N5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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