Method for producing corrosion-resistant coating film and method for producing electrostatic chuck device

WO2025115864 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025115864
Aktenzeichen
EP24897548
Anmeldetag
26. November 2024
Veröffentlichung
5. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C04B41/87C04B35/117C23C24/04C23C24/08H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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