Thin film forming method, electric/electronic device using same, and substrate processing apparatus

WO2025116485 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025116485
Aktenzeichen: EP24898079
Anmeldetag: 26. November 2024
Veröffentlichung: 5. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H10K59/80H10H20/853H10H20/854H10F77/30H10K30/88H10K71/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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