Thin film forming method, and transistor and capacitor manufactured using same

WO2025116529 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025116529
Aktenzeichen
EP24898123
Anmeldetag
27. November 2024
Veröffentlichung
5. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/768H01L21/02H10D64/66H10N97/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JUSUNG ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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