Photo-emitting plasma for activation in processing chambers, and related apparatus and methods

WO2025117216 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025117216
Aktenzeichen: EP24898496
Anmeldetag: 15. November 2024
Veröffentlichung: 5. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C30B25/10C30B25/16H05B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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