Electrostatic chuck with controllable temperature, ion implantation system using the same as well as method of controlling the temperature in said electrostatic chuck

WO2025117715 Art A1 5. Juni 2025

Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025117715
Aktenzeichen: EP24827543
Anmeldetag: 27. November 2024
Veröffentlichung: 5. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01J37/317H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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