Verfahren und Rechenvorrichtung zum Kompensieren von Flüssigkeitsübertragenen Akustischen Störanregungen einer Flüssigkeitstemperierten Optischen Komponente einer Lithographieanlage, Kompensationssystem, Lithographieanlage und Verfahren zum Herstellen einer Reglereinrichtung

WO2025119616 Art A1 12. Juni 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025119616
Aktenzeichen: EP24808888
Anmeldetag: 14. November 2024
Veröffentlichung: 12. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G02B27/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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