Vorrichtung zur Messung einer Telezentrie eines Optischen Abbildungssystems

WO2025119741 Art A1 12. Juni 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025119741
Aktenzeichen: EP24817219
Anmeldetag: 27. November 2024
Veröffentlichung: 12. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/02G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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