Signal processing method, signal processor, assessment method, and assessment apparatus

WO2025120058 Art A1 12. Juni 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025120058
Aktenzeichen: EP24821019
Anmeldetag: 5. Dezember 2024
Veröffentlichung: 12. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/40G01N23/2251H01J37/28G01T1/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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