Azimuthal Edge Ring Control To Improve Residual Non-Uniformity Near Substrate Edges

WO2025122347 Art A1 12. Juni 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025122347
Aktenzeichen: EP24901320
Anmeldetag: 20. November 2024
Veröffentlichung: 12. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01J37/32C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von