Verfahren zur Herstellung eines Kühlelements, Kühlelement für Optische Anordnungen und Optische Anordnungen für die Mikrolithographie mit einem Kühlelement

WO2025124730 Art A1 19. Juni 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025124730
Aktenzeichen: EP23833704
Anmeldetag: 15. Dezember 2023
Veröffentlichung: 19. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00F28D1/03F28D21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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