Detection of yield-critical defects using the medial axis of 3d-stacked charged-particle beam inspection images

WO2025124824 Art A1 19. Juni 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025124824
Aktenzeichen: EP24805527
Anmeldetag: 13. November 2024
Veröffentlichung: 19. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06T7/11G06T7/136

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

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