Method and system for primitive-based mask prediction

WO2025124841 Art A1 19. Juni 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025124841
Aktenzeichen: EP24812091
Anmeldetag: 18. November 2024
Veröffentlichung: 19. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/36G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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